Ｎｅｗ Ｐｒｏｄｕｃｔｓ〜測定器 ウエハー上の４８カ所の微小電流を自動測定
日経エレクトロニクス 第871号 2004.4.12
| 掲載誌 | 日経エレクトロニクス 第871号（2004.4.12） |
|---|---|
| ページ数 | 1ページ （全282字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （51kb） |
| 雑誌掲載位置 | 46ページ目 |
米Ａｇｉｌｅｎｔ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｉｅｓ，Ｉｎｃ．は，半導体ウエハーにおいて最大４８カ所の微小電流を，自動的に切り替えて測定するシステム「微小電流測定ソリューション」を発売した。最小１×１０−１５Ａ程度の測定が可能で，３００ｍｍウエハーを扱う半導体メーカーの研究開発部門などに向ける。同社の測定用プローブは従来，最大４カ所しか同時に接続できず手作業で接続し直す必要があった。アジレント・テクノロジー…
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