Ｓｅｌｅｃｔｅｄ Ｓｈｏｒｔｓ〜東芝の３００ｍｍウエハー工場が完成 ６５ｎｍルールのＬＳＩを世界に先駆け量産へ
日経エレクトロニクス 第868号 2004.3.1
| 掲載誌 | 日経エレクトロニクス 第868号（2004.3.1） |
|---|---|
| ページ数 | 1ページ （全519字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （101kb） |
| 雑誌掲載位置 | 43ページ目 |
東芝は，３００ｍｍウエハーに対応した新製造棟を大分工場内に完成させた。２００４年秋より，まず９０ｎｍルールのシステムＬＳＩの量産を開始する。続いて，６５ｎｍルールでの量産を２００５年半ばより開始する予定。「６５ｎｍルールでのＬＳＩ量産は世界初となるはず」（同社）。他社に先駆けて次世代の製造ルールを適用することで，競争力の強化を図る。２００７年ころまでに月産１万２５００枚を目指す。 ９０ｎｍルール…
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