Ｎｅｗ Ｐｒｏｄｕｃｔｓ〜静電気除去装置 照射角度は１３０度
日経エレクトロニクス 第867号 2004.2.16
| 掲載誌 | 日経エレクトロニクス 第867号（2004.2.16） |
|---|---|
| ページ数 | 1ページ （全233字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （58kb） |
| 雑誌掲載位置 | 57ページ目 |
高砂熱学工業は，軟Ｘ線の照射角度を１３０度に広げた静電気除去装置「ＩＳＸ−２２４」を発売した。従来は１１５度だった。クリーン・ルーム内などに設置して使う。軟Ｘ線を照射することで除電したい物体の近傍にある空気中の分子をイオン化し，生成した陽イオンや陰イオンで物体の静電気を中和する。今回，照射角度を広げたことでクリーン・ルーム内で静電気を除去できる範囲が拡大した。ＴＥＬ（０３）５３２３−８２８２価格は…
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