Ｎｅｗ Ｐｒｏｄｕｃｔｓ〜ナノインプリント装置 最小加工寸法は７０ｎｍ
日経エレクトロニクス 第865号 2004.1.19
| 掲載誌 | 日経エレクトロニクス 第865号（2004.1.19） |
|---|---|
| ページ数 | 1ページ （全250字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （51kb） |
| 雑誌掲載位置 | 49ページ目 |
日立製作所は，Ｓｉやガラス基板などの上に形成した膜に金型を押し付けることで，基板の表面全体にわたって最小加工寸法７０ｎｍと微細なパターンを形成できるナノインプリント装置を発売する。パターンド・メディアやＤＮＡチップ，ＩＣの配線などをフォトリソグラフィ技術を使わずにパターンを作製する用途に向ける。最大で直径１５０ｍｍの基板まで対応。パターンの形成誤差は±１μｍ。ＴＥＬ（０３）５２９５−５８３９価格は…
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