Ｎｅｗ Ｐｒｏｄｕｃｔｓ〜共焦点レーザ走査型顕微鏡 分解能は０．１２μｍ
日経エレクトロニクス 第863号 2003.12.22
| 掲載誌 | 日経エレクトロニクス 第863号（2003.12.22） |
|---|---|
| ページ数 | 1ページ （全218字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （78kb） |
| 雑誌掲載位置 | 45ページ目 |
オリンパスは，分解能を０．１２μｍに高めた共焦点レーザ走査型顕微鏡「ＯＬＳ３０００」を発売する。レーザ顕微鏡では世界最高の分解能とする。高集積度の半導体やＭＥＭＳの微細加工などにおける３次元形状の観察に向ける。従来品の観察画面はモノクロのみだったが，カラーに対応した。設置面積は従来比４０％減。ＴＥＬ（０３）６９０１−４０３１価格は１１５０万円〜１４００万円発売は２００４年１月２６日ｗｗｗ．ｏｌｙｍ…
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