Ｗｈａｔ’ｓ Ｎｅｗ〜これが「ＭＥＭＳ燃料電池」 Ｓｉ加工技術で厚さ２００μｍに
日経エレクトロニクス 第861号 2003.11.24
| 掲載誌 | 日経エレクトロニクス 第861号（2003.11.24） |
|---|---|
| ページ数 | 2ページ （全2888字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （86kb） |
| 雑誌掲載位置 | 32〜33ページ目 |
「これで燃料電池をプリント配線基板上に実装することが容易になる。半導体と同様の製造工程を使うため，製造コストも低減できそうだ」（早稲田大学 理工学部 応用化学科 教授の逢坂哲彌氏）。 早稲田大学や北辰工業などの研究チームは，ノート・パソコンや携帯電話機などの携帯機器に向けた燃料電池セルを試作した１）。Ｓｉの微細加工技術，いわゆるＭＥＭＳ（ｍｉｃｒｏ ｅｌｅｃｔｒｏ ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ ｓｙｓｔ…
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