Selected Shorts〜日立製作所,フォトリソグラフィを一切使わずに トランジスタを「印刷」する技術にメド
日経エレクトロニクス 第857号 2003.9.29
掲載誌 | 日経エレクトロニクス 第857号(2003.9.29) |
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ページ数 | 1ページ (全735字) |
形式 | PDFファイル形式 (179kb) |
雑誌掲載位置 | 48ページ目 |
日立製作所は,インクジェットなどの印刷技術を用いて,電極のピッチが10μm,チャネル長が3μmと短い有機トランジスタを製造する技術の開発にメドを付けた。この技術を使えば,フォトリソグラフィを使うことなしに,電極や有機半導体などトランジスタの構成要素を形成できる。電子ペーパーにおける各画素のスイッチングに用いるTFTのほか,利用周波数帯の低いRFIDタグに向ける。2008年までの実用化を目指すとい…
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