Ｎｅｗ Ｐｒｏｄｕｃｔｓ〜気体流量計 １ｃｍ／ｓと微小の質量流速を測定できる
日経エレクトロニクス 第853号 2003.8.4
| 掲載誌 | 日経エレクトロニクス 第853号（2003.8.4） |
|---|---|
| ページ数 | 1ページ （全243字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （66kb） |
| 雑誌掲載位置 | 55ページ目 |
オムロンは，空気や窒素，都市ガスといった気体の質量流速と質量流量を高精度に測定できる流量計「形Ｄ６Ｆ」シリーズを発売した。質量流速の最小感度は１ｃｍ／ｓ以下，質量流量は０ｌ／ｍ〜５ｌ／ｍの範囲で測定する。センサ素子はＭＥＭＳ技術で作製し，外形寸法は１．５５ｍｍ×１．５５ｍｍ×０．４ｍｍ。流量計の外形寸法は２２．１ｍｍ×２１．６ｍｍ×６２．５ｍｍで，他社品に比べて体積は１／７である。ＴＥＬ（０７５）…
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