Ｎｅｗ　Ｐｒｏｄｕｃｔｓ〜走査型電子顕微鏡　機能を最小限に絞り込み，小型軽量を実現
日経エレクトロニクス　第839号　2003.1.20

この記事の情報
掲載誌	日経エレクトロニクス　第839号（2003.1.20）
ページ数	1ページ　（全216字）
形式	PDFファイル形式　（53kb）
雑誌掲載位置	47ページ目

テクネックス工房は小型軽量の走査型顕微鏡を発売する。鏡筒部と操作部の筐体寸法はそれぞれ３８０×３５０×６００ｍｍ３，３５０×３５０×２１０ｍｍ３。重さは２０ｋｇ，１７ｋｇ。排気系にダイアフラム・ポンプとターボ分子ポンプを備える。加速電圧は１２ｋＶ〜１５ｋＶで，分解能は約２５ｎｍ。電源はＡＣ１００Ｖを利用。ＴＥＬ（０４２）７１０−４５５１価格は３９８万円２００３年３月から出荷予定ｗｗｗ．ｔｅｃｈｎｅ…