Ｗｈａｔ’ｓ Ｎｅｗ〜ＲＦ ＭＥＭＳ部品に本腰 ５ＧＨｚ帯フィルタやスイッチ
日経エレクトロニクス 第836号 2002.12.2
| 掲載誌 | 日経エレクトロニクス 第836号（2002.12.2） |
|---|---|
| ページ数 | 2ページ （全3334字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （48kb） |
| 雑誌掲載位置 | 28〜29ページ目 |
「プロセス技術者と一緒に，ＲＦ ＭＥＭＳ（ｍｉｃｒｏ ｅｌｅｃｔｒｏ ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ ｓｙｓｔｅｍｓ）部品の開発を進める段階に入った」（ある国内エレクトロニクス・メーカーで高周波部品の開発を手掛ける技術者）−−。 ＲＦ ＭＥＭＳ技術では，Ｓｉ基板上に微細な３次元構造を作成するＭＥＭＳ技術を使って，フィルタやスイッチなどの高周波部品を作り込む。既存部品に比べてはるかに高い性能と，周辺回路の集…
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