ＮＥＴｓ講座 ＷＤＭ Ｓｏｌｕｔｉｏｎｓ誌特約記事〜光ネットワーク 多機能な光集積回路を可能にする イオン注入ＱＷＩ法
日経エレクトロニクス 第834号 2002.11.4
| 掲載誌 | 日経エレクトロニクス 第834号（2002.11.4） |
|---|---|
| ページ数 | 9ページ （全6014字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （58kb） |
| 雑誌掲載位置 | 143〜151ページ目 |
米ＰｅｎｎＷｅｌｌ Ｃｏｒｐ．が発行する光ネットワーク技術誌「ＷＤＭ Ｓｏｌｕｔｉｏｎｓ」の２００２年８月号から光集積回路の製造技術の１つである「イオン注入ＱＷＩ法」に関する解説記事を紹介する。設計ルールの標準化と，スケーリングが可能な部品製造プロセスが必須となる。（本誌） 光通信用の光エレクトロニクス部品の「特殊性」を打破する技術として，光集積回路（ＰＩＣ：ｐｈｏｔｏｎｉｃ ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ…
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