Ｎｅｗ Ｐｒｏｄｕｃｔｓ〜紫外線レーザ加工機 波長２６６ｎｍ，最大ピーク出力は５００ｋＷ
日経エレクトロニクス 第832号 2002.10.7
| 掲載誌 | 日経エレクトロニクス 第832号（2002.10.7） |
|---|---|
| ページ数 | 1ページ （全240字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （82kb） |
| 雑誌掲載位置 | 57ページ目 |
三菱重工業は，波長が２６６ｎｍでパルス幅が３．５ｎｓの紫外線レーザ加工機「Ｍｅｉｓｔｅｒ １０００ＤＦ」を発売した。半導体関連部品や光通信用コネクタなどの加工に向ける。最大ピーク出力は５００ｋＷと従来品の１０倍に向上させた。これにより従来品では困難だったセラミックスやガラスの加工が可能になったとする。加工品を置くテーブルの位置決め精度は±１μｍで，数十μｍレベルの微細加工が可能。ＴＥＬ（０３）３２…
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