What’s New〜光からRFへ広がるMEMS ファウンドリーも選ぶ時期に
日経エレクトロニクス 第832号 2002.10.7
掲載誌 | 日経エレクトロニクス 第832号(2002.10.7) |
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ページ数 | 1ページ (全1876字) |
形式 | PDFファイル形式 (41kb) |
雑誌掲載位置 | 37ページ目 |
米国におけるMEMS(microelectromechanical system)の業界団体である「MEMS Industry Group(MIG)」が,2002年9月19日から20日にわたり,第2回目の年次総会「2002 MEMS Technology Roadmap and Industry Congress(METRIC)」を開催した(図1)。MIGは2001年1月に米Corning In…
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