Ｗｈａｔ’ｓ Ｎｅｗ〜「もうゲテモノではない」 ＦｅＲＡＭの成膜技術に革新
日経エレクトロニクス 第810号 2001.12.3
| 掲載誌 | 日経エレクトロニクス 第810号（2001.12.3） |
|---|---|
| ページ数 | 2ページ （全3471字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （78kb） |
| 雑誌掲載位置 | 35〜36ページ目 |
１９９０年代前半に夢のメモリとして登場しながら，市場での苦戦を強いられている強誘電体メモリ（ＦｅＲＡＭ）。論理ＬＳＩへの混載用途として使われ始めたものの，単体メモリではいまだに市場が立ち上がっていない。ＤＲＡＭなど他のメモリに比べて，大容量化・低電圧化しづらい上に，プロセスが複雑で歩留まりが低く量産に向かないためである。 こうした状況の中，ＦｅＲＡＭの普及を妨げてきた課題を一気に解決できる可能性…
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