Ｗｈａｔ’ｓ　Ｎｅｗ〜光スイッチに話題集中　期待高まるファウンドリー
日経エレクトロニクス　第807号　2001.10.22

この記事の情報
掲載誌	日経エレクトロニクス　第807号（2001.10.22）
ページ数	2ページ　（全3234字）
形式	PDFファイル形式　（59kb）
雑誌掲載位置	35〜36ページ目

　「将来性に期待していますよ。大市場に化ける可能性がありますから」（ある部品メーカーの技術者）−−。半導体製造技術を活用して，Ｓｉ基板上に３次元的な機械構造を構成するＭＥＭＳ（ＭｉｃｒｏＥｌｅｃｔｒｏＭｅｃｈａｎｉｃａｌ　Ｓｙｓｔｅｍ）が，ここにきて脚光を浴びている。これまでＭＥＭＳ技術の応用例は，加速度センサなどに限られていた感があった。それが光通信装置などに向けた光部品，高周波スイッチや高周波…