特集　ムーアの法則にはもう頼らない〜ムーアの法則にはもう頼らない
日経エレクトロニクス　第803号　2001.8.27

この記事の情報
掲載誌	日経エレクトロニクス　第803号（2001.8.27）
ページ数	3ページ　（全4126字）
形式	PDFファイル形式　（204kb）
雑誌掲載位置	112〜114ページ目

Ｃｕ配線主な効果：高速化，低消費電力化，信頼性向上　Ｃｕは，従来のＡｌに代わる配線材料。Ｃｕの抵抗率（１．６７×１０−６Ω・ｃｍ）は，Ａｌの抵抗率（２．６６×１０−６Ω・ｃｍ）の６０％程度と低いため，配線遅延を減らす手段の１つとしてＣｕ配線が注目されている。　微細化の進展とともに，配線を通る信号の遅延が高速化に対して大きな問題になっている。配線遅延は，配線の抵抗と配線間の容量の積に比例する。つまり…