特集　消えるＲＦという名の聖域〜　５ＧＨｚ超のＲＦ　ＣＭＯＳは　　＋２Ｖ以下の動作を目指す
日経エレクトロニクス　第792号　2001.3.26

この記事の情報
掲載誌	日経エレクトロニクス　第792号（2001.3.26）
ページ数	8ページ　（全11155字）
形式	PDFファイル形式　（196kb）
雑誌掲載位置	170〜177ページ目

２．４ＧＨｚ帯を超え，５ＧＨｚ帯のＲＦチップもＣＭＯＳで製造できる。高周波特性向上の原動力となったのが微細化技術である。しかし，「もう限界」という声も少なくない。微細化一辺倒では５ＧＨｚ帯を超える用途への展開が難しいためだ。ここでカギになるのが受動素子の製造技術。そしてトランジスタの製造技術である。これらと微細化技術を組み合わせ，５ＧＨｚ帯以上をねらう。　２００１年中には設計ルール０．１８ｎｍのＣ…