講座　プロセス〜球面半導体ＩＣついに離陸　加速度センサをサンプル出荷へ
日経エレクトロニクス　第782号　2000.11.6

「球面上に集積回路など作れるわけがない」。１９９６年に設立された米Ｂａｌｌ　Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ　Ｉｎｃ．には，これまで常にこうした疑問がつきまとってきた。しかし，ここに来てこうした状況は変わりつつある。製造技術にメドがついてきたからだ。念願だった３次元加速度センサのサンプル出荷とＣＭＯＳ　ＩＣの試作を２０００年末に始める。（本誌）　これまでウエーハを使ったチップ上に形成していた集積回路（Ｉ…