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ニュース・ダイジェスト〜AMAT社,300mmウエーハ対応機を大量出荷
日経エレクトロニクス 第777号 2000.8.28
掲載誌 | 日経エレクトロニクス 第777号(2000.8.28) |
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ページ数 | 1ページ (全213字) |
形式 | PDFファイル形式 (42kb) |
雑誌掲載位置 | 41ページ目 |
米Applied Materials(AMAT)社は,台湾Taiwan Semiconductor Manufacturing Co.(TSMC)社から300mmウエーハ対応の半導体製造装置を大量に受注し,2000年7月末から出荷を始めた。TSMC社はこれらの装置を自社のパイロット・ライン「Fab6」に設置し,300mmウエーハ・プロセスを立ち上げ,将来建設する量産ラインにその技術を移管するもよ…
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