新製品ニュース〜検出感度０．１２ｎｍの高速レチクル検査装置 検査時間は１００ｍｍ×１００ｍｍ当たり８４分
日経エレクトロニクス 第777号 2000.8.28
| 掲載誌 | 日経エレクトロニクス 第777号（2000.8.28） |
|---|---|
| ページ数 | 1ページ （全520字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （240kb） |
| 雑誌掲載位置 | 65ページ目 |
ＮＥＣは，レチクル検査装置市場に参入し，０．１５ｎｍルールに対応した「ＬＭ５０００」を発売した。高集積化の進むプロセサ，ＤＲＡＭ，システムＬＳＩなどのレチクルの欠陥検査に向ける。 紫外線レーザを２本にして同時に欠陥検出を行なう方式と，高速画像処理機能を採用し，レチクルを１００ｍｍ×１００ｍｍ当たり８４分で欠陥検査できるようにした。同分野で最大シェアを誇る米ＫＬＡ−Ｔｅｎｃｏｒ Ｃｏｒｐ．製の装置…
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