ニュース・レポート〜群馬の化学工場爆発で 半導体製造用薬品が“灰”に
日経エレクトロニクス 第773号 2000.7.3
| 掲載誌 | 日経エレクトロニクス 第773号（2000.7.3） |
|---|---|
| ページ数 | 1ページ （全1163字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （84kb） |
| 雑誌掲載位置 | 35ページ目 |
化学薬品メーカである日進化工の爆発事故によってＬＳＩメーカや関連化学メーカがレジストはく離剤の見直しを迫られている。各メーカは代替品の検討や新たな原料供給元の確保に動き始めた。 日進化工が爆発事故を起こした直後，ＬＳＩの生産に大きな影響が及ぶのではとの懸念が広がった（図１）。日進化工がＬＳＩ製造に使うレジストはく離剤の成分の一つであるヒドロキシルアミンを生産する国内最大手メーカだったためである。同…
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