論文　トラブル・シューティング〜静電破壊ゼロの　素子生産ラインは　こうして作る
日経エレクトロニクス　第766号　2000.3.27

耐性基準を満たしていても素子の静電破壊がひんぱつする生産ラインが急増している。現在，ほとんどのメーカが「破壊電圧」を基準にして，ラインの静電気対策を行なっている。これが元凶と，ＮＥＣはいう。破壊電圧が試験環境と生産ラインで必ずしも一致しないからだ。そこで，同社は再現性が高く，最先端デバイスに適した素子の静電破壊耐性として「破壊電荷量」を今回提案した。さらに，素子の破壊電荷量や生産ラインで素子に蓄積…