ニュース・レポート〜最小加工寸法0.1nmの マイクロプロセサを試作
日経エレクトロニクス 第737号 1999.2.22
掲載誌 | 日経エレクトロニクス 第737号(1999.2.22) |
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ページ数 | 1ページ (全1095字) |
形式 | PDFファイル形式 (27kb) |
雑誌掲載位置 | 28ページ目 |
米Motorola社と米Numerical Technologies社は,最小加工寸法0.1nmのマイクロプロセサを試作した。同製造技術を使った製品は1999年内の量産開始を目指す。SIAのロード・マップよりも4年早い。 米国半導体工業会(SIA)によると,ゲート長0.1nmのマイクロプロセサの登場は2003年である。ステッパ光源は,ArFエキシマ・レーザに代わり,0.1nm前後からF2エキシマ・…
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