ＤＥＮヘッドライン プロダクション〜■日立，ＤｅｖｉｃｅＮｅｔ利用で半導体プロセスをリアルタイム制御
日経デジタル・エンジニアリング 第21号 1999.9.1
| 掲載誌 | 日経デジタル・エンジニアリング 第21号（1999.9.1） |
|---|---|
| ページ数 | 1ページ （全399字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （28kb） |
| 雑誌掲載位置 | 55ページ目 |
■日立，ＤｅｖｉｃｅＮｅｔ利用で半導体プロセスをリアルタイム制御 日立製作所は半導体製造工程において，センサバスにＤｅｖｉｃｅＮｅｔを利用したリアルタイム監視・制御システムを構築することで，比較的安価に装置稼働率を向上させるメドをつけた。現在，半導体構造が微細化するに伴い，品質維持の調整に時間が取られている。この時間を削減するために，各種センサからの情報を基に制御にフィードバックするシステムを試作…
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