ＢＹＴＥ Ｒｅｐｏｒｔ リサーチ最前線〜目指すは“ミクロ決死隊” 微小円筒表面への配線技術を開発
日経バイト 第272号 2006.1.1
| 掲載誌 | 日経バイト 第272号（2006.1.1） |
|---|---|
| ページ数 | 1ページ （全1275字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （43kb） |
| 雑誌掲載位置 | 18ページ目 |
東北大学先進医工学研究機構ナノメディシン分野 芳賀洋一助教授らの研究グループは，直径数ｍｍの微小円筒表面に金属配線パターンなどを作製するリソグラフ技術を確立した。この１０月に開かれた「第２２回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム」で発表した。 微小円筒表面に対するリソグラフ技術はほかにもあるが，今回の技術は，（１）配線パターンを積層できる，（２）アクチュエータなどＭＥＭＳ（Ｍｉｃｒｏ…
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