ＢＹＴＥ　Ｒｅｐｏｒｔ　リサーチ最前線〜水素社会を見すえたボールセンサー　広範囲なＨ２濃度を高速に検出可能
日経バイト　第263号　2005.4.1

この記事の情報
掲載誌	日経バイト　第263号（2005.4.1）
ページ数	1ページ　（全1721字）
形式	PDFファイル形式　（241kb）
雑誌掲載位置	18ページ目

　半導体パッケージのなかに直径１ｍｍの水晶球が実装され，水晶球の底の部分とパッケージの端子がつながっている（写真）。新しい半導体回路なのだろうか？　詳しく見ると，底の部分に電極があり，水晶球表面の一部がＰｄ−Ｎｉ（パラジウム−ニッケル）合金薄膜で覆われているが，半導体回路らしいものは見えない。これは，東北大学大学院工学研究科教授　山中一司氏らが研究開発中の「ボールＳＡＷ水素ガスセンサー」。　２００…