ニュース　設備〜間仕切りのないクリーンルーム
日経アーキテクチュア　第943号　2011.1.10

　鹿島は、気流によるエアカーテンで、クリーンルームの建設コストを低減できる手法「局所清浄型クリーンルーム」を開発した。清浄エリアを区切るために必要だった間仕切りが不要になり、生産装置の設置間隔を狭められる。床面積を減らして、低コスト化を図ることができる。生産ラインの変更に柔軟対応　２０１０年４月に改正省エネ法が完全施行されてから、半導体生産施設では、生産施設全体での省エネが急務になっている。また、…