新製品・新サービス 設備〜消費電力を３分の２に削減した クリーンルーム用の空気清浄・循環装置
日経エコロジー 第14号 2000.8.1
| 掲載誌 | 日経エコロジー 第14号（2000.8.1） |
|---|---|
| ページ数 | 1ページ （全450字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （135kb） |
| 雑誌掲載位置 | 121ページ目 |
ＴＦＦＵ−３５９ＴＳ／３６９ＴＳ 高砂熱学工業 （０３−３２５９−２８５５） 半導体や液晶の製造に用いる「クリーンルーム」に設置する空気清浄・循環ユニット（ＦＦＵ）。クリーンルームの天井から床の排気口に向けて空気の循環を作り、室内のチリを除去する。 消費電力を従来機の３分の２にあたる６３Ｗ（電源周波数５０Ｈｚの場合）に抑えた。大規模な工場ではＦＦＵを数千台の規模で用いることも多く、全体では大きな省…
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