Ｎｅｗｓ　Ｉｎｓｉｄｅ　精密　世界最大手の最新装置故障で半導体製造復活狙う日本勢
週刊ダイヤモンド　2014.4.12号　2014.4.12

この記事の情報
掲載誌	週刊ダイヤモンド　2014.4.12号（2014.4.12）
ページ数	1ページ　（全1344字）
形式	PDFファイル形式　（219kb）
雑誌掲載位置	12頁目

Ｎｅｗｓ　Ｉｎｓｉｄｅ　精密　世界最大手の最新装置故障で半導体製造復活狙う日本勢　最新のＥＵＶ（極端紫外線）露光装置が故障した──。２月下旬、米カリフォルニア州で開催された国際光工学会。次世代の半導体製造技術の動向に注目する参加者の間で“隠れた大ニュース”になったのは、半導体製造大手、台湾ＴＳＭＣの幹部の言葉だった。　半導体の微細化が限界に近づく中、ＥＵＶは次世代技術の本命とされてきた。半導体露光…