ビジネス掲示板
週刊ダイヤモンド 2006.3.11号 2006.3.11
| 掲載誌 | 週刊ダイヤモンド 2006.3.11号（2006.3.11） |
|---|---|
| ページ数 | 1ページ （全1784字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （198kb） |
| 雑誌掲載位置 | 70頁目 |
ビジネス掲示板Ｆｏｃｕｓｅｄ Ｉｏｎ Ｂｅａｍ Ｓｙｓｔｅｍ 試料作製を高効率で確実に行なう集束イオンビーム装置 透過電子顕微鏡（ＴＥＭ）や走査電子顕微鏡（ＳＥＭ）で半導体デバイスのような微細な個所を観察・解析する際に、その精度を左右するのは前処理工程である試料作製段階だ。そのための必需品が薄膜試料や断面試料を高い位置精度で効率よく確実に作製できる集束イオンビーム加工観察装置ＪＥＭ−９３２０ＦＩＢ…
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