ダイヤモンドレポート　半導体製造装置に異変！　新技術が業界再編を加速
週刊ダイヤモンド　2001.7.7号　2001.7.7

この記事の情報
掲載誌	週刊ダイヤモンド　2001.7.7号（2001.7.7）
ページ数	3ページ　（全3055字）
形式	PDFファイル形式　（70kb）
雑誌掲載位置	14〜16頁目

ダイヤモンドレポート　半導体製造装置に異変！　新技術が業界再編を加速東京精密・ソニー連合の参入で迫られるキヤノンの選択これまでニコン、キヤノンは世界の半導体製造装置市場で強固な地位を築いてきた。その市場が揺らぎつつある。主力製品であるステッパー（半導体製造の前工程で、回路を縮小してウエハーに焼き付ける装置）に次世代技術が出現し、合従連衡の引き金が引かれたのである。その緒戦を追った。　六月一四日の夜…