Ｅｍｅｒｇｉｎｇ　Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ〜ＭＥＭＳ加速度センサー，１０００倍高感度に
日経マイクロデバイス　第295号　2010.1.1

この記事の情報
掲載誌	日経マイクロデバイス　第295号（2010.1.1）
ページ数	1ページ　（全670字）
形式	PDFファイル形式　（328kb）
雑誌掲載位置	9ページ目

　ＭＥＭＳ加速度センサーを既存製品に比べて１０００倍高感度にする技術が登場した。米Ｈｅｗｌｅｔｔ−Ｐａｃｋａｒｄ　Ｃｏ．が開発した。高感度化できたのは，新構造を採用したためである。　新構造は，３枚のＳｉウエーハを接合して実現する（図１）。加速度が生じた際に動く重りは，上下２枚のウエーハに挟まれた中央のＳｉウエーハに形成している。この重りの動きは，下側のウエーハとの間で形成するキャパシタの容量変化か…