Ｔｅｃｈ−Ｏｎ！Ｒａｎｋｉｎｇ［ＭＥＭＳ］〜ＳＵＳＳ　ＭｉｃｒｏＴｅｃ　「ＢｌｕｅＲａｙプローブ・システム」を強化
日経マイクロデバイス　第258号　2006.12.1

この記事の情報
掲載誌	日経マイクロデバイス　第258号（2006.12.1）
ページ数	1ページ　（全277字）
形式	PDFファイル形式　（249kb）
雑誌掲載位置	185ページ目

　ドイツＳＵＳＳ　ＭｉｃｒｏＴｅｃ　ＡＧが，高スループットのウエーハ・プローバで７万台／時のテストが可能な「ＢｌｕｅＲａｙプローブ・システム」を発表した。同社は「現在，世界で唯一の完全な全自動型のプローバ」とする。同製品は，成長需要に対応するため，独自のウエーハ・ハンドリング・ロボットをＢｌｕｅＲａｙプローブ・システムに組み入れる。いったんウエーハを導入すると，ロボットはすべてのウエーハを自動的に…