Ｒｅｐｏｒｔ［ＦＰＤ］〜液晶パネルのリペア新技術　１ケタ高速化でインラインに
日経マイクロデバイス　第253号　2006.7.1

この記事の情報
掲載誌	日経マイクロデバイス　第253号（2006.7.1）
ページ数	1ページ　（全830字）
形式	PDFファイル形式　（146kb）
雑誌掲載位置	83ページ目

　液晶パネルのＴＦＴ基板の断線不良を修復するリペア工程で，検査工程との連結（インライン化）を可能にし，生産ライン全体のスループット向上を実現できる新技術をオムロンが開発した。検査工程と連結するうえで課題となっていたリペア処理速度を１ケタ高速化できる（図１）。　液晶パネル製造におけるリペア工程は，パネルの大画面化が進むにつれて，製造コストを大きく左右するようになってきた。大画面化するほどパネル単価が…