Ｎｅｗ Ｐｒｏｄｕｃｔｓ ＬＥＤ基板の欠陥検査を自動化〜ＬＥＤ基板の欠陥検査を自動化
日経マイクロデバイス 第248号 2006.2.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第248号（2006.2.1） |
|---|---|
| ページ数 | 1ページ （全575字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （361kb） |
| 雑誌掲載位置 | 102ページ目 |
ＬＥＤ向けの透明なサファイア基板やＧａＮ基板などを自動検査できる装置（図１）。ウエーハ・メーカーによる出荷前の最終検査や，ＬＥＤメーカーによる受け入れ時の検査に使える。従来は顕微鏡を使い目視で検査していた。この場合，１枚のウエーハの検査に通常１０〜１５分程度かかるという。今回の装置を使い自動化することにより，これを２〜３分に短縮できる。さらに，欠陥の見落としや，作業者の個人差による検査バラつきを…
記事の購入（ダウンロード）
購入には会員登録が必要です 会員登録はこちら
価格 330円（税込）
他のIDで購入する
G-Search ミッケ！は雑誌を記事ごとに販売するサービスです。
この記事は「1ページ（全575字）」です。ご購入の前に記事の内容と文字数をお確かめください。
（注）特集のトビラ、タイトルページなど、図案が中心のページもございます。
Ｔｅｃｈ−Ｏｎ！Ｒａｎｋｉｎｇ［ＥＤＡ］〜「必ず２時間以内で処理が完了する」 米ＭａｇｍａのＤＲＣツール，次はＤＦＭ機能を提供
Ｔｕｔｏｒｉａｌ〜第１回●総論 ＬＳＩ性能を左右するプロセス装置 本命技術を中心に総覧
Ｎｅｗ Ｐｒｏｄｕｃｔｓ 解析情報を複数の技術者で共有可能に〜解析情報を複数の技術者で共有可能に
Ｎｅｗ Ｐｒｏｄｕｃｔｓ ２台のヘッドで異なるテストを実行〜２台のヘッドで異なるテストを実行
Ｎｅｗ Ｐｒｏｄｕｃｔｓ ウエーハ面内バラつきを１／２に削減〜ウエーハ面内バラつきを１／２に削減
