Ｒｅｐｏｒｔ［ＭＥＭＳ］〜国産のＭＥＭＳ設計・解析ツール 「ＭｅｍｓＯＮＥ」の概要が明らかに
日経マイクロデバイス 第247号 2006.1.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第247号（2006.1.1） |
|---|---|
| ページ数 | 2ページ （全2487字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （235kb） |
| 雑誌掲載位置 | 99〜100ページ目 |
日本企業が中心になって開発を進めているＭＥＭＳ（ｍｉｃｒｏ ｅｌｅｃｔｒｏ ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ ｓｙｓｔｅｍｓ）デバイスの設計ツール「ＭｅｍｓＯＮＥ」システムの概要が明らかになった注１）。このシステムは， ＭＥＭＳ関連の業界団体マイクロマシンセンターが，２００４年４月に始めた国家プロジェクト「ＭＥＭＳ−ＯＮＥ」の中で，２００７年３月の完成を目指して取り組んでいるものである（図１）。 このプロジ…
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