技術レター[LSI製造]〜FETは新チャネル構造 配線は台湾TSMCが 目立った「IEDM」
日経マイクロデバイス 第211号 2003.1.1
掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第211号(2003.1.1) |
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ページ数 | 1ページ (全2158字) |
形式 | PDFファイル形式 (82kb) |
雑誌掲載位置 | 30ページ目 |
FETロジック・プロセス配線技術 12月9日〜11日に米国サンフランシスコで開かれた「2002 International Electron Devices Meeting(IEDM)」では,MOS FET関連で歪みSiや薄膜SOI(silicon on insulator)の移動度に関する発表と,フィンFETやGe MOS FETなど新チャネル構造の提案が相次いだ。ロジック関連では,東芝とソニー…
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