特別企画　Ｐａｒｔ２　インタビュー〜洗浄装置でトップを堅持　塗布・現像装置は反撃へ
日経マイクロデバイス　第210号　2002.12.1

　２００３年は，２００２年にほぼ５０％を獲得した洗浄装置市場でのシェアを堅持する。そして，ここ数年苦戦が続いた塗布・現像装置市場で反撃する。　洗浄装置市場は，大きく分けて三つの分野がある。バッチ式装置を使う市場，スタンド・アロン型のスクラバ装置を使う市場，枚葉式装置の市場である。このうちバッチ式装置市場は，われわれが７０％のシェアを確保しており，他社に侵食される可能性は低い。しかし，この市場はＬＳ…