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日経マイクロデバイス　第197号　2001.11.1

この記事の情報
掲載誌	日経マイクロデバイス　第197号（2001.11.1）
ページ数	4ページ　（全4176字）
形式	PDFファイル形式　（97kb）
雑誌掲載位置	69〜72ページ目

ＦＰＤ■アニール装置「ＨＴＣ−５０Ｂ」　消費電力を従来に比べて１／３に削減した低温多結晶Ｓｉ−ＴＦＴ液晶向けアニール装置（図１）。通常，アニール装置では内部の温度と清浄度を一定に保つためにフィルタを通じて雰囲気ガスを循環させている。ただ，低温多結晶Ｓｉ−ＴＦＴ液晶向けに必要となる５００℃の高温雰囲気に耐えられるフィルタは，これまでは存在しなかった。このため，従来はフィルタの直前で雰囲気ガスを冷却し…