μレポート［ＬＳＩ製造］〜システムＬＳＩ量産技術の　二つの開発プロジェクト　東北大学で本格始動
日経マイクロデバイス　第196号　2001.10.1

この記事の情報
掲載誌	日経マイクロデバイス　第196号（2001.10.1）
ページ数	2ページ　（全2100字）
形式	PDFファイル形式　（37kb）
雑誌掲載位置	145〜146ページ目

研究・開発多品種少量生産システムＬＳＩシステムＬＳＩの量産技術を開発する二つのプロジェクトが東北大学で具体的に動き出した。一つは，「ＨＡＬＣＡ」と呼ぶプロジェクトで，この９月に新エネルギー・産業技術総合開発機構（ＮＥＤＯ）が助成を決定し，本格始動の運びとなった。もう一つは，「ＤＩＩＮ」と呼び，ＨＡＬＣＡよりも将来を見すえた技術開発を行う。いずれも東北大学教授の大見忠弘氏がプロジェクト・リーダーを務…