技術レター［ＦＰＤ］〜１０００×１２００ｍｍ２対応の 液晶向け露光装置を キヤノンが発売
日経マイクロデバイス 第196号 2001.10.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第196号（2001.10.1） |
|---|---|
| ページ数 | 1ページ （全275字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （24kb） |
| 雑誌掲載位置 | 35ページ目 |
製造装置ＴＦＴ製造技術 １０００×１２００ｍｍ２基板の全面露光を実現する液晶向け露光装置「ＭＰＡ−７０００」をキヤノンが開発し，９月に出荷を始めた。スループットは，１０００×１２００ｍｍ２基板の場合に１５型（対角３８ｃｍ）パネルで５６０枚／時，１８型（対角４６ｃｍ）パネルで３９０枚／時，２３型（対角５８ｃｍ）パネルで２５０枚／時，３２型（対角８１ｃｍ）ワイド・テレビ向けで１３０枚／時と高い。１８型…
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