技術レター［ＦＰＤ］〜米ＦｌｅｘＩＣｓ，プラスチック・　シート上へのＴＦＴ形成　技術を実用化へ
日経マイクロデバイス　第196号　2001.10.1

システム液晶ＴＦＴフレキシブル基板　米ＦｌｅｘＩＣｓ，　Ｉｎｃ．が，幅４８インチ（１２２ｃｍ），長さ１〜３ｍのプラスチック・シート上に連続処理でＴＦＴを形成する技術の実用化を目指し，開発を進めている。システム・オン・パネルの実現や液晶パネルの大幅な軽量化，設備投資額１／３への削減を一気に達成する狙いである。この技術の確立に向けて，（１）基板としてプラスチック・シートを使えるようにするためにＴＦＴの…