技術レター［ＬＳＩ設計＆パッケージ］〜ＭＥＭＳ技術を使った 回転加速度センサー ＬＳＩ大手２社が製品へ
日経マイクロデバイス 第196号 2001.10.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第196号（2001.10.1） |
|---|---|
| ページ数 | 1ページ （全402字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （25kb） |
| 雑誌掲載位置 | 33ページ目 |
ＭＥＭＳセンサー民生機器 ＭＥＭＳ（ｍｉｃｒｏ ｅｌｅｃｔｒｏ ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ ｓｙｓｔｅｍｓ）技術を使った加速度センサーを，伊仏ＳＴＭｉｃｒｏｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓ社と三菱電機がそれぞれ製品化した。ＳＴＭｉｃｒｏｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓは，静電容量型の回転加速度センサーとＡ−Ｄ変換器，フィルタ，インタフェース回路を集積化した。厚膜の多結晶Ｓｉでセンサーの可動部を構成し，微小な動きを大きな静電…
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