論文［ＬＳＩ製造］〜システムＬＳＩの差異化技術へ ３次元構造や異種材料を導入
日経マイクロデバイス 第195号 2001.9.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第195号（2001.9.1） |
|---|---|
| ページ数 | 12ページ （全9599字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （270kb） |
| 雑誌掲載位置 | 125〜136ページ目 |
ＭＥＭＳシステムＬＳＩ多品種少量生産センサーやアクチュエータなどの個別部品をＳｉ基板上に集積化できるＭＥＭＳ（ｍｉｃｒｏ ｅｌｅｃｔｒｏ ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ ｓｙｓｔｅｍｓ）技術。これまでは半導体とは遠い存在というイメージが強かったが，ここへ来てシステムＬＳＩの差異化技術として注目を集めている。すでに，欧米ではシステムＬＳＩ向けの研究・開発が進んでおり，台湾では待ち望まれていたＭＥＭＳファウンド…
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