μレポート［ＬＳＩ製造］〜システムＬＳＩ製造技術の　革新狙い，具体策が　相次ぐ「ＩＳＳＭ　２００１」
日経マイクロデバイス　第194号　2001.8.1

この記事の情報
掲載誌	日経マイクロデバイス　第194号（2001.8.1）
ページ数	2ページ　（全4020字）
形式	PDFファイル形式　（39kb）
雑誌掲載位置	179〜180ページ目

大口径化生産技術ＬＳＩプロセス本格的なシステムＬＳＩ時代を迎え，ＬＳＩ製造技術の改革を目指した具体策の発表が，２００１年１０月８日〜１０日に米国カリフォルニア州サンノゼで開かれる「１０ｔｈ　Ｉｎｔｅｒｎａｔｉｏｎａｌ　Ｓｙｍｐｏｓｉｕｍ　ｏｎ　Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ　Ｍａｎｕｆａｃｔｕｒｉｎｇ　（ＩＳＳＭ　２００１）」に相次ぐ。３００ｍｍラインの自動化や装置レイアウトの最適化，システムＬＳＩの…