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日経マイクロデバイス　第193号　2001.7.1

この記事の情報
掲載誌	日経マイクロデバイス　第193号（2001.7.1）
ページ数	3ページ　（全3018字）
形式	PDFファイル形式　（71kb）
雑誌掲載位置	157〜159ページ目

パッケージ■「ＥＳＩ　Ｍｏｄｅｌ　５４１０」　従来に比べて１．６〜１．９倍に高速化したパッケージ基板向けＵＶレーザー穴開け装置（図１）。高速化するためにＵＶレーザー・ヘッドを２本使った。２本のレーザー・ヘッドを使う例は他社にもあったが，２本を一体化させた状態でどちらか１本を制御するため，もう１本の位置決めが犠牲になっていた。今回，２本を独立に動かす構造を導入し，それぞれの位置を制御することによって…