解説［ＬＣＤ（ディスプレイ）］　囲み〜マスク蒸着装置が急進展　１〜２型の量産化を支える
日経マイクロデバイス　第192号　2001.6.1

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掲載誌	日経マイクロデバイス　第192号（2001.6.1）
ページ数	1ページ　（全1523字）
形式	PDFファイル形式　（126kb）
雑誌掲載位置	107ページ目

　量産がいよいよ始まる１〜２型（対角２．５〜５．１ｃｍ）のカラー有機ＥＬ（ｅｌｅｃｔｒｏｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ）パネルを製造技術面で支えたのが，マスク蒸着装置である。真空チャンバ内で粉体の低分子型有機ＥＬ材料を蒸発させ，その蒸気を基板に付着させることによって有機ＥＬ層を形成する。カラー化では材料を付着させる際に，マスクを使ってＲＧＢの各ドットをそれぞれ分離できるようにした。現在は，市場をトッキと…