技術レター[LSI製造&LSI設計]〜トレセンティ,独Infineon, 米Intel,着々と進む 300mm関連施設の建設
日経マイクロデバイス 第192号 2001.6.1
掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第192号(2001.6.1) |
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ページ数 | 1ページ (全276字) |
形式 | PDFファイル形式 (24kb) |
雑誌掲載位置 | 29ページ目 |
大口径化工場研究開発 300mmウエーハ関連の量産ラインや研究開発ラインの建設が着々と進んでいる。まずトレセンティテクノロジーズが300mmウエーハ量産ラインでの「本格的な商業量産を開始した」(同社代表取締役社長の野原壽雄氏)。続いて独Infineon Technologies AG.がドイツのドレスデンに建設中の300mmウエーハ量産ラインで製造装置の搬入準備を整えた。米Intel Corp.は…
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