技術レター［ＬＳＩ製造＆ＬＳＩ設計］〜０．１３μｍ，ＳＯＩ対応の　故障解析システムを　米Ｓｃｈｌｕｍｂｅｒｇｅｒが開発
日経マイクロデバイス　第191号　2001.5.1

この記事の情報
掲載誌	日経マイクロデバイス　第191号（2001.5.1）
ページ数	1ページ　（全265字）
形式	PDFファイル形式　（26kb）
雑誌掲載位置	31ページ目

ＳＯＩ検査・分析故障解析　０．１３μｍルールのＳＯＩ（ｓｉｌｉｃｏｎ　ｏｎ　ｉｎｓｕｌａｔｏｒ）に対応した非接触・非破壊の故障解析システム「ＩＤＳ　ＰＩＣＡ」を米Ｓｃｈｌｕｍｂｅｒｇｅｒ　Ｌｔｄ．が開発した。米ＩＢＭ　Ｃｏｒｐ．から「アドバンスド　ＰＩＣＡ（Ｐｉｃｏｓｅｃｏｎｄ　Ｉｍａｇｉｎｇ　Ｃｉｒｃｕｉｔ　Ａｎａｌｙｚｅｒ）」と呼ぶ技術のライセンス供与を受けて実現した。電気信号がチップ内部を伝…