産業ウオッチャ〜300mmと0.13μmを 組み合わせた試作に 米Intelが成功
日経マイクロデバイス 第191号 2001.5.1
掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第191号(2001.5.1) |
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ページ数 | 1ページ (全285字) |
形式 | PDFファイル形式 (25kb) |
雑誌掲載位置 | 27ページ目 |
米国工場300mm 米Intel Corp.は,米国オレゴン州の300mmウエーハ試作ライン「D1C」で,0.13μmルールを使ったチップの試作に成功した。300mmとしては,すでに独Infineon Technologies AG.や台湾Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd.がユーザーへの製品出荷を開始しており,トレセンティテクノロジーズが量産ラ…
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